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High purity (low)pressure gauge-chips and semiconductors-1/4" NPT Male/EP-3


●所有部件均經過超聲波純化水處理

●焊接在高純氬氣保護的無氧真空室內進行

●產品經過嚴格的壓力和氣密性測試，可達1X10-9Pa·m³/s

●Suitable for the high purity gas distribution system used in a semiconductor, electronic,medical,biotechnology and pharmaceutical industry

 


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細節

標籤

產品規格

模型

HPG50-VP/AP-4-L/C

 

公稱直徑（毫米）
50


壓力範圍
Item No：66003--- -30inHG~0~300psi / 0~600psi


位移（毫米）
1.1~1.4


準確性 （％）
ASME 40.100-2013 A 級


Gas path sur face finish
< 32Ra µin (Internal)


Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)

 

工作壓力

Stable                          75%   FS
Fluctuating pressure    66%   FS
Short time                    100% FS

 

工作環境

環境溫度-40℃~65℃
Medium max.              +100°C
Relative humidity        50%

 

溫度影響

Accuracy at temperature above and below the reference temperature (20°C) will be effected by approximately ±0.4% per 10°C of full scale

 

標準配置

 

聯繫
1/4" NPT male
316L 不銹鋼
（可根據要求提供）

 

配件
下安裝 (L)
中心後部安裝 (C)


測量元件
Bourdon tube : 316L SS
Movement : 304 SS


撥號
鋁


指針
鋁


案件
304 SS（電解拋光）


窗戶
聚碳酸酯(PC)

 

PICTURE DETAILS

外觀及安裝尺寸(MM)

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