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  • High purity (low)pressure gauge-chips and semiconductors-1/4" NPT Male/EP-3

High purity (low)pressure gauge-chips and semiconductors-1/4" NPT Male/EP-3


●全ての部品を超音波精製水処理しています。

●高純度アルゴンガスで保護された無酸素真空チャンバー内で溶接を行います。

●1X10-9Pa・m3/sまでの厳しい耐圧・気密試験に合格した製品です。

●Suitable for the high purity gas distribution system used in a semiconductor, electronic,medical,biotechnology and pharmaceutical industry

 


詳細

タグ

製品仕様書

モデル

HPG50-VP/AP-4-L/C

 

呼び径(mm)
50


圧力範囲
Item No:66003--- -30inHG~0~300psi / 0~600psi


変位(mm)
1.1~1.4


正確さ (%)
ASME 40.100-2013 GradeA


Gas path sur face finish
< 32Ra µin (Internal)


Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)

 

使用圧力

Stable                          75%   FS
Fluctuating pressure    66%   FS
Short time                    100% FS

 

作業環境

周囲温度 -40℃ ~65℃
Medium max.              +100°C
Relative humidity        50%

 

温度の影響

Accuracy at temperature above and below the reference temperature (20°C) will be effected by approximately ±0.4% per 10°C of full scale

 

標準構成

 

繋がり
1/4" NPT male
316L SS
(リクエストも承ります)

 

フィッティング
ロアマウント(L)
センターバックマウント(C)


測定要素
Bourdon tube : 316L SS
Movement : 304 SS


ダイヤル
アルミニウム


ポインタ
アルミニウム


場合
304SS(電解研磨)



ポリカーボネート(PC)

 

PICTURE DETAILS

外観と設置寸法(MM)

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